真空泵機組

 
       氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：

    第一大類型就是變容真空泵：變容真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種：

 1、往復真空泵：是利用泵腔內活塞做往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵（隔膜式真空泵也是一種往復式真空泵）。

 
2、旋轉真空泵：是利用泵腔內轉子做旋轉運動，將氣體吸入，壓縮并排出。旋轉真空泵又有如下幾種型式：

1）油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置，故部分又稱氣鎮式真空泵。按其結構特點分為如下五種型式：

 a)旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個(或兩個以上)旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。

 b)滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變容積。

 
c)定片式真空泵：在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變容積。

d)余擺線式真空泵：在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。

 e)多室旋片式真空泵：在一個泵殼內并聯裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。

2）液環式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時，把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積，介質為水時也叫水環真空泵。

3）羅茨真空泵：泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子，轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。

 4）螺桿真空泵：利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新換代產品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內各大制藥和化工企業得到廣泛應用。

5）爪式真空泵：爪式真空泵原理類似與羅茨，利用兩個爪型轉子與泵腔形成抽氣容積，旋轉過程中轉子可自動開閉。

 6）渦旋真空泵：渦旋真空泵是由渦旋壓縮機演化而來的一種無油真空泵。

其中螺桿真空泵、爪式真空泵以及渦旋真空泵等又可以稱為干式真空泵，可以實現不用油類密封。

第二大類是動量傳輸泵。這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型：

              4、擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特
               性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。